ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପ୍ରୋସେସର୍ ହେଉଛି ପ୍ଲାଜ୍ମା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ଉପକରଣ|ଏହାର ଗଠନ ନିମ୍ନଲିଖିତ ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ନେଇ ଗଠିତ:
ଡିସଚାର୍ଜ ଚାମ୍ବର: ଡିସଚାର୍ଜ ଚାମ୍ବର ହେଉଛି ଏକ ପ୍ଲାଜମା ପ୍ରୋସେସରର ମୂଳ ଉପାଦାନ|ଏହା ଉଚ୍ଚ ଏସି ଭୋଲଟେଜ୍ କିମ୍ବା ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଫିଲ୍ଡ ବ୍ୟବହାର କରି ଗ୍ୟାସ୍ ନିଷ୍କାସନ କରିଥାଏ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ପ୍ଲାଜମା ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ|ଡିସଚାର୍ଜ ଚାମ୍ବର ସାଧାରଣତ c ସେରାମିକ୍ କିମ୍ବା ଗ୍ଲାସ୍ ଭଳି ଇନସୁଲେଟିଂ ସାମଗ୍ରୀରେ ତିଆରି |
ୱାର୍କିଂ ଚାମ୍ବର: ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ୱାର୍କିଂ ଚାମ୍ବର ହେଉଛି ପ୍ରାଥମିକ ସ୍ଥାନ|ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ୟାସ, ଚାପ ଏବଂ ଶକ୍ତି ପାରାମିଟରକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରି ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରଭାବ ହାସଲ ହୁଏ|ୱାର୍କିଂ ଚାମ୍ବର ସାଧାରଣତ good ଭଲ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସିଲ୍ ଗୁଣ ସହିତ ସାମଗ୍ରୀରେ ନିର୍ମିତ, ଯେପରିକି ଧାତୁ କିମ୍ବା ସେରାମିକ୍ |
ଏଭ୍ୟୁକେସନ୍ ସିଷ୍ଟମ୍: ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ ଏକ ଶୂନ୍ୟ ପରିବେଶ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ୱାର୍କିଂ ଚାମ୍ବରରୁ ଗ୍ୟାସ୍ ବାହାର କରିବା ପାଇଁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ|ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ସାଧାରଣତ a ଏକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଏବଂ ଆନୁଷଙ୍ଗିକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀକୁ ନେଇ ଗଠିତ |
ଉଚ୍ଚ - ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ: ଉଚ୍ଚ - ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ପ୍ଲାଜମା ସଞ୍ଚାଳକକୁ ଶକ୍ତି ଯୋଗାଇଥାଏ, ଏକ ଉଚ୍ଚ - ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ମାଧ୍ୟମରେ ଗ୍ୟାସକୁ ଆୟନାଇଜ୍ କରି|ଉଚ୍ଚ - ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ସାଧାରଣତ electronic ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପାଦାନ ଏବଂ ଆନୁଷଙ୍ଗିକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀକୁ ନେଇ ଗଠିତ |
ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀ: ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ପାରାମିଟର ସେଟିଂ, ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର ମନିଟରିଂ ସହିତ ସମଗ୍ର ପ୍ଲାଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିଥାଏ|ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ସାଧାରଣତ a ଏକ କମ୍ପ୍ୟୁଟର ଏବଂ ଆନୁଷଙ୍ଗିକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସଫ୍ଟୱେର୍ କୁ ନେଇ ଗଠିତ |
ଏଥିସହ, ପ୍ଲାଜ୍ମା ପ୍ରୋସେସର୍ଗୁଡ଼ିକ ଡିସଚାର୍ଜ ଚାମ୍ବରକୁ ଆବଶ୍ୟକ ଗ୍ୟାସ୍ ଯୋଗାଇବା ପାଇଁ ଏକ ଗ୍ୟାସ୍ ଯୋଗାଣ ବ୍ୟବସ୍ଥା ସହିତ ସଜ୍ଜିତ|ଏହି ସିଷ୍ଟମ୍ ସାଧାରଣତ a ଏକ ଗ୍ୟାସ୍ ସିଲିଣ୍ଡର, ଏକ ପ୍ରେସର ନିୟନ୍ତ୍ରକ, ଫ୍ଲୋ କଣ୍ଟ୍ରୋଲର୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ନେଇ ଗଠିତ |
ସଂକ୍ଷେପରେ, ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପ୍ରୋସେସରର ସଂରଚନାରେ ଡିସଚାର୍ଜ ଚାମ୍ବର, ଏକ ୱାର୍କିଂ ଚାମ୍ବର, ଏକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମ୍, ଏକ ଉଚ୍ଚ - ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ଏବଂ ଏକ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ବ୍ୟବସ୍ଥା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ|ଏହି ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ସମନ୍ୱିତ କାର୍ଯ୍ୟ ପ୍ଲାଜମା ସଞ୍ଚାଳକକୁ ପଦାର୍ଥ ପୃଷ୍ଠରେ ବିଭିନ୍ନ ଶାରୀରିକ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସୃଷ୍ଟି କରିବାକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଚିକିତ୍ସା ହାସଲ ହୁଏ |